半導體特氣檢測探頭，PS-6/PS-6N
產品概述
PS-6/PS-6N半導體特氣檢測探頭是一款專為半導體行業設計的氣體檢測設備，采用泵吸式采樣方式，可靈活安裝于各類復雜環境中。該產品通過更換不同傳感器實現對多種氣體的檢測，滿足半導體制造過程中對特種氣體泄漏監測的需求。15
核心特點
該探頭采用模塊化卡式傳感器設計，安裝和更換過程簡便快捷，無需專業工具即可完成操作。內置泵吸系統能以0.5L/min的流量進行氣體采樣，配合特氟龍材質管路（外徑6mm/內徑4mm），最長可實現20米距離的氣體采集，對于吸附性強的氣體則建議控制在5米范圍內。產品具有現場濃度LED顯示功能，便于實時監控氣體狀態。2610
技術參數
設備工作電壓為DC24V±10%，功耗約10-15W，輸出標準4-20mA模擬信號，可與各類測量系統兼容。外形尺寸為73mm×198mm×140mm（不含突起部分），重量約2.5kg。采用CVVS 3芯或4芯電纜連接，支持氣流故障信號傳輸。探頭內置溫度補償電路，確保在不同環境溫度下（0-40℃）保持測量準確性。4912
應用場景
適用于檢測硅烷(SiH4)、砷化氫(AsH3)、磷化氫(PH3)、鍺烷(GeH4)等半導體工藝氣體，以及三甲基砷((CH3)3CAsH2)、三甲基磷((CH3)3CPH2)等有機金屬化合物氣體。廣泛應用于半導體晶圓廠、光伏電池生產線、液晶面板制造等需要特種氣體監控的工業場所。51422
使用優勢
產品采用免現場標定設計，出廠預校準的傳感器即插即用，大幅降低維護復雜度。獨特的流量調節技術和故障自診斷功能可實時監測設備工作狀態，當檢測到氣體濃度超標或系統異常時，會通過聲光報警和繼電器信號輸出提醒操作人員。緊湊的結構設計使其能適應狹窄空間安裝需求。61527
簡單介紹
PS-6/PS-6N半導體特氣檢測探頭 半導體特氣檢測探頭PS-6/PS-6N特點： ¬ 泵吸式探頭，可安裝在各種場合。 ¬ 卡式傳感器，安裝、更換極為方便。
PS-6/PS-6N半導體特氣檢測探頭
的詳細介紹
PS-6/PS-6N半導體特氣檢測探頭
半導體特氣檢測探頭PS-6/PS-6N
半導體特氣檢測探頭PS-6/PS-6N特點：
¬ 泵吸式探頭，可安裝在各種場合。
¬ 卡式傳感器，安裝、更換極為方便。
¬ 更換不同的傳感器可檢測不同的氣體。
¬ 不需要在設置現場進行標定
¬ 輸出4～20mA的標準信號，可接入各種測量系統，亦可連接在已設置的 裝置中。
規格：
| 型 號 |
PS-6 |
PS-6N |
| 檢 測 原 理 |
定電位電解式、型半導體式、隔膜Galvanic電池式
|
熱分解、定電位電解式 |
| 采 樣 方 式 |
泵吸引式（0.5L/min） |
| 采 樣 管 道 |
特富龍外徑6/內徑4mm，配管距離20m以內，但吸附性強的氣體大配管距離為5m. |
| 輸 出 信 號 |
4～20mA（包括負荷電阻、電纜電阻要300Ω以下）與電源的負端公用 |
| 故 障 輸 出 |
流量低時,開路集電極OFF |
| 適 合 電 纜 |
CVVS 3芯或4芯(使用氣流故障信號時) |
| 電 源 |
DC24V±10% |
| 消 耗 電 力 |
10W |
15W |
| 尺 寸 |
W73×H198×D140（mm）
（突起部分除外）
|
另有過濾部 |
| 重 量 |
約2.5kg |
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