HPS2663精密四探針電阻率測試儀,半導(dǎo)體四探針電阻率測試儀
產(chǎn)品參數(shù)
- 型號：HPS2663
- 電阻測量范圍：1μΩ-50MΩ
- 電阻率測量范圍：10-5-105Ω·cm
- 方塊電阻測量范圍：10-4-106Ω/□
- 電流源輸出：1μA-100mA
- 基本測量精度：±0.1%
- 探針間距：1mm
- 探頭壓力：0-2kg可調(diào)
- 顯示方式：LCD液晶顯示
- 數(shù)據(jù)接口：RS-232C
產(chǎn)品概述
上海雙旭HPS2663精密四探針電阻率測試儀是專為半導(dǎo)體材料電阻率測量設(shè)計(jì)的高精度儀器。采用經(jīng)典四探針法原理，可準(zhǔn)確測量半導(dǎo)體晶圓、硅片等材料的電阻率、方塊電阻和體電阻。
主要特點(diǎn)
- 采用高精度恒流源和電壓測量單元
- 自動量程切換功能
- 溫度補(bǔ)償功能
- 可存儲多組測試數(shù)據(jù)
- 配備專業(yè)四探針探頭
- 支持厚度修正功能
應(yīng)用領(lǐng)域
主要用于半導(dǎo)體材料、太陽能電池片、晶圓片、導(dǎo)電薄膜等材料的電阻率測試，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光伏行業(yè)、科研院所等領(lǐng)域。
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