PS-6/PS-6N半導體特氣檢測探頭是一款專為半導體制造行業設計的氣體監測解決方案，通過創新的傳感技術與模塊化設計，為高純度特種氣體環境提供實時、精準的泄漏監測與濃度分析能力。該產品針對半導體制造過程中涉及的高毒、易燃、腐蝕性等特殊氣體特性進行優化設計，可有效輔助企業提升生產環境安全性，降低工藝風險。
核心設計上，PS-6/PS-6N采用多層復合傳感技術，能夠精準識別ppm級氣體濃度變化，在保證檢測靈敏度的同時，實現對復雜氣體環境的抗干擾能力。探頭內置智能溫補算法，可在-20℃至50℃的寬溫域環境下保持測量穩定性，適應半導體工廠不同區域的環境需求。其模塊化結構支持快速拆裝維護，主體外殼采用抗腐蝕合金材質與雙層密封工藝，在保障長期可靠運行的同時，大幅降低后期維護復雜度。
在產品適用性方面，PS-6系列可兼容氫氣、硅烷、氯氣、氟化氫等三十余種半導體制造場景常用特種氣體，通過即插即用式接口設計，可靈活接入現有氣體監測系統。探頭的數字化輸出模式支持多維度數據分析，既能滿足實時預警需求，也可為工藝優化提供參考依據。針對不同安裝場景，提供PS-6（標準型）與PS-6N（窄域型）兩種規格，分別適配管道集中監測與設備近場監控等細分需求。
該產品現已應用于多座8英寸及12英寸晶圓廠的工藝設備配套系統，其緊湊的外觀設計有效降低對潔凈車間空間的占用。通過持續迭代的軟件算法，設備可在線完成自診斷與基線校準，顯著提升監測系統的持續運作效能。企業可根據實際工藝需求，選擇單點或多節點組網部署方案，構建覆蓋生產全流程的特氣安全防護網絡。
