大口徑低溫泵測試系統可為環模設備低溫泵提供完整的性能參數。本文介紹了一種大口徑、大抽速低溫泵的測試系統，對各分系統結構功能進行了詳細描述。其使用流量法和流導法兩種方法提供在1×10-6 Pa 至10 Pa 范圍內的抽速、預冷時間、極限真空度等參數的測量。此系統同時具有加熱烘烤和可調節氣體流量的功能。
隨著環模設備容量的不斷增大，真空系統對于大抽速、高真空、清潔無油的低溫泵需求也越來越強，同時對于低溫泵性能測試設備的要求也隨之提高。本文介紹了一種國內最新的大口徑低溫泵測試系統，能完成氮氣等氣體抽速、低溫泵預冷時間、低溫泵極限真空度的測定，測試罩極限真空小于1×10-6 Pa，控制精度優于0.5%F.S。
1、低溫泵測試系統的總體設計及測試原理
低溫泵測試系統主要由測試罩、真空測量系統、真空獲得系統、流量控制系統、加熱系統、循環水系統、數據采集及控制系統等部分組成。其總體設計原理如圖1 所示。
抽速測試方法分為兩部分，流量法和標準流導法。流量法主要用來得到低真空下(>10-3 Pa)的抽速、測試低溫泵的容許真空度和流量上限；流導法主要是利用分子流下的小孔流導來測試高真空下(<10-3 Pa)泵的抽速等性能參數。
